离子溅射仪
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176/次总次数
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13958/小时总时长
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14/人收藏者
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
MSP-2S -
当前状态
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管理员
陈奔,陈柏承,张子谦 0771-3946492 -
放置地点
仙葫校区格物楼A105
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
离子溅射仪
资产编号
2018888517
型号
MSP-2S
规格
产地
美国
厂家
美国IXRF
所属品牌
美国IXRF
出产日期
购买日期
所属单位
科学实验中心公共平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
张子谦
联系电话
0771-3946492
联系邮箱
syzx3946492@163.com
放置地点
仙葫校区格物楼A105
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1.工作条件1.1电源：AC 200-240 V，50－60HZ1.2温度：15－32℃1.3湿度：20-80%(32℃时)2.主要技术参数2.1真空泵连接真空室，控制单元提供电压2.2浮动样品台设计：使电子流不通过样品而温度上升很少，同时减弱离子碰撞引起的损伤2.3工作电压：固定，放射电流可调2.4真空系统：台式设计内置旋转泵，转速为20L/min，"O"型密封圈封闭真空系统，2.5工作时8-10Pa的仓内压力保证溅射顺利进行。.2.6仪器尺寸：长340mm×宽200mm ×高350mm，重量为14kg。2.7样品仓尺寸：内径120mm ×高度65mm，材质为硬质玻璃。★2.8靶材尺寸：直径55mm，永磁体内置磁控管型。*★2.9样品台尺寸：直径50mm，与阳极分离的浮动装配方式。 靶材：Au-Pd， Au，Pt-Pd，Pt，用户可根据需要自行选配★2.10靶材到样品台的距离：35mm，附带间距调节用的辅助台。2.11电源：AC100V，10A，带接地线的3P插头，有变压器可使用220V3.其他配置★配置商务台式电脑一台及相应操控软件；打印机一台。
主要功能及特色
IXRF磁控离子溅射仪MSP-2S/MSP-Mini利用磁控电极在低电压下对样品溅射金属靶材，为SEM样品表面喷镀金属镀层，方便电镜观察，而MSP-mini是一款体积小巧，操作简便，无需通入特殊气体，使用时只需设置喷镀时间即可。
设备使用相关说明
无
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